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2025年12月，集成高频超声振动的智能刃磨平台产出纳米级锋利钨钢裁刀。
刃口半径稳定控制在0.5μm以内，在划切200μm厚硅光晶圆时，崩边宽度≤10μm，碎片率0.08%。
该精度满足IMEC硅光集成工艺要求，填补国产高端划切工具空白，价格仅为进口产品的55%。
姚先生 / Bill yao@163.com8
江苏省苏州市昆山市盛创路88号
